SAMCO RIE-330iPC (ICP)

• Автоматическая установка травления индуктивно-связанной плазмой с кассетной загрузкой для массовое производства
• Назначение: анизотропное травление всех видов полупроводниковых, изолирующих и металлических пленок; массовое производство светодиодов; травление GaN; травление сапфира
• Рабочая камера: (650х650)мм из алюминия с контролируемой температурой стенок и подложки
• Загрузочная камера: алюминиевая, (720х720)мм. Позволяет использовать хлорсодержащие и фторсодержащие реагенты
• Кассетная камера
• Перемещение пластин: вакуумные робот с многошарнирным манипулятором транспортировки пластин и робот-перегрузчик
• Пластины: ø2” – до 27шт., ø2,5” – до 17шт., ø3” – до 12шт., ø4” – до 7шт., ø6” – до 3шт. в одной загрузке
• Электроды: ИСП –электрод (верхний) — SST Coil ICP electrode. Механический или электростатический держатель пластины
• Подложкодержатель ø330мм, оперативное управление температурой пластины за счет гелиевого охлаждения обратной стороны
• Температура подложкодержателя: (-10÷250)°C   
• Источник ИСП: 1000Вт (SSTC Coil), 13,56МГц. Источника смещения – 1000Вт, 13,56МГц
• Газовая система: 5 газовые линии с РРГ
• Применяемые газы: Cl₂, BCl₃, CHF₃, Ar, N₂  и прочие
• Вакуумная система: для рабочей камеры — турбомолекулярный насос и безмасляный форвакуумный насос; для загрузочной камеры — турбомолекулярный насос  и безмасляный форвакуумный насос; для кассетной камеры — безмасляный форвакуумный насос
• Контроль вакуума: в рабочей камере — мембранный вакуумметр, ионизационый вакуумметр; в загрузочной камере – кристаллический вакуумметр, ионизационый вакуумметр; в кассетной камере — кристаллический вакуумметр
• Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ, протоколирование данных
• Электроэнергия: 200В, 3ф, 100А
• Охлаждающая вода: 2 х 10 л/мин
• Вентиляция для подключения роторных насосов и корпуса установки
• Габариты: установка — (1470x2600x2320) мм
• Окончание процесса: визуально/по интерферометру
• Опционно: до 8 газовых линий, система оповещения окончания процесса

к списку